模具在淬火后的变形，不论采取什么方法，变形都是无法避免的，但是对于要严格控制变形量的精密复杂模具可采取以下方法进行控制。
1采用调质热处理
对基体硬度要求不高，而表面硬度要求较高的精密复杂模具，可采取模具粗加工后进行调质热处理，精加工后进行低温氮化处理(500~550度)，由于模具氮化温度低，不存在基体组织相变，另外炉冷至室温出炉，冷却应力也较少，模具变形较小。
2采用预先热处理
对精密复杂模具，如其硬度要求不太高，可采用预先热处理的预硬钢，对模具钢(如3Cr2Mo, 3CrMnNiMo钢)进行预先热处理，使之到达使用时的硬度(较低硬度为25~35HRC，较高硬度为40~50HRC)，然后把模具加工成型不再进行热处理，从而保证精密复杂模具的精度。
3采用时效硬化型模具钢
对精密复杂模具可采用时效硬化钢，如PMS(1Ni3Mn2CuA1.Mo)钢是一种新型时效模具钢，在870?C固溶淬火后的硬度在30HRC左右，便于机械加工，模具加工成型后再进行500?C左右的时效热处理，即可获得40~45HRC的较高硬度，模具变形较小，只需要进行抛光处理，是理想的精密复杂模具用钢。
